株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
- 最終更新日：2024-10-31 10:19:29.0
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更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1％を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー
【特徴】
○高精度
流量精度±1％を実現
○高性能センサ
低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
高速応答ピエゾアクチュエータを採用
デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
パーティクル発生 極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応
●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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カタログシステム【流量制御機器】FCS Thermal Series
取扱企業システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
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株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社
＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞ 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 ＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞ フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。
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