システム【流量制御機器】FCS Thermal Series フジキン(Fujikin Incorporated)

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した
デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー

【特徴】
○高精度
　流量精度±1％を実現
○高性能センサ
　低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び
　安定性の低いガスに最適構造を実現
○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止
　高速応答ピエゾアクチュエータを採用
　デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上
　パーティクル発生極少
○デジタルインターフェース標準装備 RS485
○RoHS対応

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

関連リンク - https://www.fujikin.co.jp/product/

基本情報システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

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カタログシステム【流量制御機器】FCS Thermal Series

マスフローコントローラー FCS Thermal Series

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取扱企業システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞日本が世界に誇る半導体技術。超微量のガスを正確にコントロールし、極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで生産されます。組立・検査などの工程もすべてウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。また、1992年夏に打ち上げられたわが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。