取り扱いCAEソリューション

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。
お客様のニーズに合わせた対応も可能です。

【ラインナップ】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能

《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに

この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、
プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。

「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」
「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。

また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。

【ラインナップ／特長】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能

《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる
CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。

SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。
計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。

最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など
従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで
開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。

【特長】
■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応
■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成
■非常に高速で正確、堅牢なソルバー
■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定
■物理的なテストと優れた相関性を示す正確な計算結果

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる
CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。

SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。
計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。

最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など
従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで
開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。

【特長】
■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応
■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成
■非常に高速で正確、堅牢なソルバー
■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定
■物理的なテストと優れた相関性を示す正確な計算結果

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる
CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。

SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。
計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。

最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など
従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで
開発期間の短縮や品質の向上、コスト削減につながります。

【特長】
■流れ・乱流・熱伝導と熱対流など、幅広いシミュレーションに対応
■CADサーフェスから直接かつ自動的に計算メッシュを生成
■非常に高速で正確、堅牢なソルバー
■マイクロメートルスケールの形状など非常に困難な問題の反復計算も安定
■物理的なテストと優れた相関性を示す正確な計算結果

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VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ（プラズマジェット）
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ （詳細を見る）

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ（プラズマジェット）
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ （詳細を見る）

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点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、重点メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ（プラズマジェット）
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ （詳細を見る）

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スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
・プラズマトーチ（プラズマジェット）
・溶接
・溶射
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スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
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Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
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■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
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■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
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■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
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■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

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■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
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■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
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■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
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■圧縮性流れ（亜音速）
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【以下の流体解析が可能】
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■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
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■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
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一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp （詳細を見る）

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。 （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

Simerics MP+ は、様々なバルブ、ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

バルブの解析はもちろん、最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp （詳細を見る）

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
　お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

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Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
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バルブの解析はもちろん、最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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アイシン精機様がどのようにしてPumpLinxへ乗り換えたか、どのように活用されているかのインタビューを掲載しました。

ぜひご覧ください。 （詳細を見る）

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熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

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■自由表面流れ
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■圧力脈動、水撃作用
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■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
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■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
・低圧プラズマ解析を得意とします
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体解析ソフトです。
熱流体解析ソフト Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

Simerics MP+ は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体解析ソフトです。
熱流体解析ソフト Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動　など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
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弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

ポンプやバルブの熱流体解析を中心に培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 （詳細を見る）

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 （詳細を見る）

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SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの解析に非常に強みを持つ、流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション(CFD)ソフトです。

【以下の流体解析(CFD)が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、ギヤポンプの歯型間などの数µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます！！

他のソフトだとメッシュ生成などのモデル作成に掛かっている時間で、SimericsMP+は解析まで終わってしまいます。

働き方改革の為にも特化ツールで時短を！

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で！！

ユーザ様事例
https://www.wavefront.co.jp/CAE/PumpLinx/interview.html （詳細を見る）

PumpLinx は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体解析ソフトです。
熱流体解析ソフト Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
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■低中真空状態の流れ
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一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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最近では、自動車用のモーターの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、

・解析時間がかかりすぎる
・細かい計算メッシュを切るのが厳しい
・発散してしまい収束しない

というご相談が寄せられています。

開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文
https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/ （詳細を見る）

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■自由表面流れ
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PumpLinx は、様々な弁、容積形ポンプ、コンプレッサーの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

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弁の解析はもちろん、最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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■自由表面流れ
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他のソフトだとメッシュ生成などのモデル作成に掛かっている時間で、SimericsMP+は解析まで終わってしまいます。

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【以下の流体解析が可能】
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SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
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■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

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SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

PumpLinx は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体解析ソフトです。
熱流体解析ソフト Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、他のCFDソフトウェアではVOFの解析に難があり、SimericsMP+へのお問い合わせを頂く事例が増えております。

SimericsMP+はVOFに強みがあり、サポートにも定評を頂いております。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

SimericsMP+は、様々な容積形ポンプ、コンプレッサー、バルブの流体の過渡特性を計算するための、流体シミュレーション・ツールです。
熱流体シミュレーション・ツール Simerics MP を基盤として開発されており、Simerics MP の全ての機能を利用できます。

【以下の流体解析が可能】
■自由表面流れ
■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ
■圧力脈動、水撃作用
■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成
■低中真空状態の流れ
■圧縮性流れ（亜音速）
■キャビテーション
■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化

一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位のクリアランスも、全自動でメッシュ作成が出来ます!!

最近では、自動車用や建機向けのオイルポンプで実績が増えており、例えば、パワーステアリング用やCVT用のベーンポンプ、エンジン潤滑用トロコイドポンプ等の事例が増えています。

※Web上には載せられない情報が多数ございます。
特に実際のメッシュ作成と動きは、ぜひデモ実演で!! （詳細を見る）

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！
たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など
プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！
【解析対象となる物理現象】
・結合と活性化
・成膜
・スパッタや浸食
・脱離や洗浄　　　など

【評価可能な表面特性例】
・原料ガスやプラズマの入射量やエネルギー、あるいは浸食/成膜速度の評価
・物質の原子/分子データに基づきその材料特性を評価
・入射粒子の表面反応予測
・処理後の表面粗さ評価
・処理前後の親水性の変化
・処理後結晶の屈折率計算 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても
高速にシミュレーションを行うことができます

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
 （詳細を見る）

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、
RFマグネトロンスパッタの解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。
3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、
より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。


◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
 （詳細を見る）

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です
Particle-PLUSで利用可能な
1)軸対称モデル
2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます

◇『Particle-PLUS』の特徴
・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
　お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
sales@wavefront.co.jp （詳細を見る）