ピンク・ジャパン株式会社
最終更新日:2019-10-17 11:42:15.0
フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』
基本情報フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』
高信頼性・高熱伝導率接合!新しいプロセス並びに新しい生産の可能性を豊富に提供
『SIN200+』は、R&D生産並びに連続生産用途に適したフレキシブル
シンタリングシステムです。
真空チャンバー内での昇温、シンタリング、冷却の全工程中で、基板温度、
雰囲気圧力およびガス組成を、随時正確に制御することが可能。
信頼性が高く、弾性に富んだ 温度耐性を持った結合を特長とする、
シンタリング接合を可能にすることができます。
【特長】
■プレス圧力の動的適用:最大 2,000kN(200t)まで
■プレス勾配の監視と動的制御
■プレスエリア:≦ φ280
■プレスツールの交換対応(ユーザーツール使用可)
■固有ガス雰囲気の正確な制御(N2、N2/O2、N2/H2、HCOOH)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』
シンタリングシステム『SIN200+』は、従来ののSn系はんだ材に代わる新しい接合技術で、パワー半導体モジュールのシンタリング(焼結)によるダイアタッチ接合のR&D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。
真空チャンバー内での加熱、シンタリング(加圧)、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御することができ、併せてギ酸ガスによる還元も実行可能です。従来の大気圧下での接合に比べて、圧力、加圧、ガス注入を適時変化させながらのプロセスは、より均一で高い信頼性を持ったシンタリング接合を実現します。
また、シンター材は、銀ペーストおよび、銅ペーストにも対応でき、特殊な加圧治具を採用しており、接合する高さや、サイズが変わっても治具交換の必要が無く、多様な製品に迅速で柔軟に経済的な加工を提供できます。
既に、欧州のパワー半導体大手製造メーカーへの納入実績も多数あります。
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取扱会社 フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』
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