スウェージロック・ジャパン
最終更新日：2020-11-04 18:57:30.0
ALD6（原子層蒸着）用 ダイヤフラム・バルブ_PTR:技術情報MS-06-22-EJ I09E
基本情報ALD6（原子層蒸着）用 ダイヤフラム・バルブ_PTR:技術情報
ノーマル・クローズ型Swagelok(R) ALD6 ダイヤフラム・バルブ
【技術情報】
■ シート部のヘリウム・リーク・テスト
■ バルブ流量一貫性分析
■ 実験室でのサイクル・テスト
■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性
■ パーティクル・カウント
■ 残留イオン濃度
■ 表面仕上げ
■ 水分分析
■ 炭化水素分析
■ バルブ作動の応答性に関して
『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、
半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。
【特長】
○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン
○高速の開閉機能
○高温下でも安定した流量を実現
○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート
常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。 （詳細を見る）
取扱会社 ALD6（原子層蒸着）用 ダイヤフラム・バルブ_PTR:技術情報
米国スウェージロック社で製造される業界最高レベルのバルブや継手など、豊富な品揃えの流体システム製品の販売。流体制御に関するトータル・ソリューション・プロバイダーとして配管ユニット製作サービス（Swagelok(R)カスタム・ソリューションズ）の提案。各種技術セミナーなどのサービスの提供。
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