『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈スウェージロック・ジャパン

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に対応

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、
半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。

【特長】
○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン
○高速の開閉機能
○高温下でも安定した流量を実現
○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート

常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」を製品ラインアップに追加しました。

原子層蒸着（ALD）用バルブ：製品紹介

基本情報『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈

高純度用途／超高純度用途のニーズにお応えするため、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っているSwagelokバルブをご利用ください。

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型番・ブランド名	原子層蒸着（ALD）プロセス用途向け超高純度用バルブ
用途／実績例	半導体業界の原子層蒸着（ALD）プロセスをはじめ、高速での作動や長いサイクル・ライフを必要とする箇所に適しています。