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最終更新日:2019-11-08 18:05:30.0

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イオン注入装置のラインナップ

基本情報イオン注入装置のラインナップ

低エネルギーから8MeVまでの多彩な注入装置を完備しております。

室温でのイオン注入はもちろん、世界で数社のみが対応可能な高温でのイオン注入では、トップレベルの技術力と設備を誇ります。

弊社では、チップから12インチ径ウエハまで多種多様なサンプル及び、お客様からのご要望に合わせて各種条件での注入処理が可能です。注入条件は10~8,000KeVまで、室温から高温加熱(600℃)まで、イオン種は約60種の対応が可能です。

イオン注入装置のラインナップ

イオン注入装置のラインナップ 製品画像

室温でのイオン注入はもちろん、世界で数社のみが対応可能な高温でのイオン注入では、トップレベルの技術力と設備を誇ります。

弊社では、チップ小片から300mm(12インチ)径ウエハまで多種多様なサンプル及び、お客様からのご要望に合わせて各種条件での注入処理が可能です。注入条件は10~8,000KeVまで、室温から高温加熱(600℃)まで、イオン種は約60種の対応が可能です。 (詳細を見る

取扱会社 イオン注入装置のラインナップ

株式会社イオンテクノセンター

1.受託物理分析 2.イオン注入加工

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