Fine System Components（ファインシステム機器）CC-1394-1

FMD00シリーズは、マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。 （詳細を見る）

薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。 （詳細を見る）

供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工



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■特　長
【高精度・高速応答】
　ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。
　滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。
　接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。

【圧力変動低減】
　ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。
　生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。

【小型ラインナップ追加】
　接続口径1/4"、3/8"に省スペースタイプPMP002 Seriesを追加。


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■特徴
　PYMシリーズ
　ボディステンレスを採用した空気・N2ガス・純粋用減圧弁
　
　PMM20シリーズ
　接続部　オールフッ素樹脂の純粋用減圧弁
　
　PMM50シリーズ
　純粋・温純水の大流量供給に対応された減圧弁

※一部バリエーション販売終了、受注生産品御座います （詳細を見る）

エアオペレイト式ピンチバルブ 「HYAシリーズ」は、医薬品製造のシングルユース工程など無菌性を要求される環境に適しています。
コイルを持たず通電による発熱もないので、制御する流体や周囲環境への熱影響を避けられます。 （詳細を見る）

【集積ユニット】
プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。
プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。
設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。

詳しくはカタログをDLいただくか、CKD内商品ページをご覧ください。 （詳細を見る）

『AMDパート3Rシリーズ』は、さまざまな仕様に対応する
薬液用エアオペレイトバルブです。

圧力性能を高めることにより、使用圧力範囲を拡大、A・Bポートの
使用圧力を共通化しました。操作圧力及び、流体温度性能を向上、
全バリエーション120℃まで対応しています。

【特長】
■使用圧力範囲を拡大
■酸・アルカリ問わず 標準で様々な薬液に対応
■耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用
■操作圧力・流体温度を共通化
■標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大（Max. 120℃）
■3種類（フランジ・底面・４点フランジ取付）の取付方法を選択可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

薬液槽の液面検出に適した”エア方式”で
薬液雰囲気による腐食や引火の心配がなく、半導体製造、化学プロセスに最適です

■ 腐食・防爆対策が容易
接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できます。

■設置コストを削減
蒸気、飛沫、雫、温度、薬液（刺激臭、引火性、腐食性）の影響を受けないため、
対策費用が抑えらえれ、設置も簡単です。

■ コンパクト
槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません

■メンテナンスフリー
常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。 （詳細を見る）