薬液・純水供給部の圧力変動をパイロットエアコントロールにより安定化可能。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更可能
■特 長
【高精度・高速応答】
ダイアフラム構造の高精度圧力安定性・高速応答対応。
滞留部の少ない流路構造で置換特性向上。
接液部オールフッ素樹脂で高クリーンレベル・高耐食性。
【圧力変動低減】
ダイヤフラムポンプからの脈動などを抑止可能。
生産品やレシピの違いにより遠隔で設定圧力を変更することも可能。
【小型ラインナップ追加】
接続口径1/4"、3/8"に省スペースタイプPMP002 Seriesを追加。
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基本情報CKD パイロットレギュレータ PMPシリーズ
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| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | PMP |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置 |
詳細情報CKD パイロットレギュレータ PMPシリーズ
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アプリケーション例 安定吐出（圧力・流量）
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アプリケーション例 分岐流量均一化
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アプリケーション例 遠隔流量設定
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