神港精機株式会社東京支店
最終更新日:2020-05-20 15:12:06.0
ドライ真空ポンプ SSHシリーズ
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、
省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを
有したスマートドライポンプです。
●独自設計の面シールスクリューロータにより、
ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。
●排気速度重視の「パワーモード」、
省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。
●非腐食性ガスの場合、
冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。
●ポンプコントローラを搭載しており、
手動運転、遠隔操作が可能です。
●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。
アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。
●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。
●キャスター付
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取扱会社 ドライ真空ポンプ SSHシリーズ
●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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