省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、
省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを
有したスマートドライポンプです。
●独自設計の面シールスクリューロータにより、
ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。
●排気速度重視の「パワーモード」、
省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。
●非腐食性ガスの場合、
冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。
●ポンプコントローラを搭載しており、
手動運転、遠隔操作が可能です。
●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。
アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。
●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。
●キャスター付
基本情報ドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SSHシリーズ
用途に応じてシールガス・パージガスなどの
オプション品を用意しております。
◆◇◆詳しくはお問い合わせください◆◇◆
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SSHシリーズ |
| 用途／実績例 | ◆主な用途◆ ●真空はんだ付け装置（パワー半導体） ●薄膜形成装置（金型・電子デバイス） ●吸着搬送用真空源（小型電子部品） ●封止装置（半導体チップ） ●断熱層減圧（ガス貯蔵タンク） |
カタログドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SSHシリーズ
取扱企業ドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SSHシリーズ
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●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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