スプレー大気圧塗布装置　CMS series

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。
生産工程を飛躍的に向上させます！
多様なプロセス・膜種・膜厚が可能

■ドライ
　・スパッタ
　・蒸着
　・CVD
　・ALD
　・DLC
■ウェット
　・ディップ
　・スプレー
　・印刷、転写
　・ダイコーター
　・ディスペンサー

装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成膜レシピ、成膜作製等、成膜に関する受託サービスを提供いたします。

装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。
試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

塗布精度・ライン性を重視したアレイ塗布全自動装置 。キャリア搬送を全自動化し生産能力を大幅にアップ。

塗布精度・ライン性を重視したアレイ塗布装置
　・独自開発の転写マスクで塗布ライン性・耐久性が向上
　・高精度アライメント機構で高精度塗布を実現
　・アイテム替えの段取りが容易
　・0603～3216ｍｍサイズのアレイ塗布に対応

自社開発マスクにより小型サイズにも高精度に塗布が可能！
　・独自開発の材料を採用し、従来よりマスクの耐久性アップ
　・マスクに特殊処理を施すことでぬけ性が向上、理想の電極形状を実現
　・精密加工によりストレート性の高いライン塗布が可能 （詳細を見る）