成膜受託サービスクリエイティブコーティングス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカバー！

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。
生産工程を飛躍的に向上させます！
多様なプロセス・膜種・膜厚が可能

■ドライ
　・スパッタ
　・蒸着
　・CVD
　・ALD
　・DLC
■ウェット
　・ディップ
　・スプレー
　・印刷、転写
　・ダイコーター
　・ディスペンサー

装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成膜レシピ、成膜作製等、成膜に関する受託サービスを提供いたします。

装置販売だけでなく、成膜受託もお受けしております。
試作作成も可能です。ワークとご要望をお聞かせください。

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報成膜受託サービス

■100nm以下
・ALDによる受託成膜例
【成膜スペック】
　ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他
　サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません
【適応膜】
　SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、HfO₂等

■100nm～1μ程度
・DLCによる受託成膜例
【成膜スペック】
　ワーク：導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム、樹脂製品、自動車部品、金属部品、医療製品等
　サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません
【適応膜】
　DLC膜、グラファイト膜

■100～1000nm
・IBADによる受託成膜例
【成膜スペック】
　ワークサイズ：φ100～300ｍｍ（不定形・円筒も可能）
　層形成：単層膜・多層膜可能（Max.4層）　　　　　　　　
　パターン蒸着：メタルマスク対応（オプション）
【適応膜】
　高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO等

その他、幅広く対応可能ですのでお気軽にお問い合わせください。

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