神港精機株式会社 ロゴ神港精機株式会社東京支店

最終更新日:2020-09-07 11:20:16.0

  •  

真空排気装置カタログ

基本情報真空排気装置カタログ

実績と信頼の真空ポンプユニット。化学・食品・冶金・電子材料製造プロセスに豊富な組み合わせより個別設計で好適化。

実績豊富な各真空ポンプ(ドライポンプ・水封式真空ポンプ・油回転真空ポンプ・メカニカルブースタ)を用途・目的に合わせてユニット化。オプション機構も追加装備し個別専用排気装置にシステムアップ。
ケミカルプロセス・冶金・乾燥・蒸留・脱ガス多くの用途に好適なシステムを提案

水封式真空ポンプ SWシリーズ

水封式真空ポンプ SWシリーズ 製品画像

豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。
他方式ではトラブルの基となる様々なガスを
封水でシールすることにより安定して排気します。

◆水封式真空ポンプは、
水でシールすることで
凝縮性ガスや引火性ガスの
排気も可能にします。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。

◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組み合わせで800~1,300Paまで向上させることが可能です。

◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、
メカニカルシールも選択できます。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。
 (詳細を見る

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製) 製品画像

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、
接ガス部に耐食性材質を採用することで、
故障を低減できます。

◆耐食性材質としてグレードの高い
SCS14(SUS316)のステンレスで製造します。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。

◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、
配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。

◆水封式真空ポンプですので
凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。

◆二段式のため2,300Paの到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組合せで800~1,300Paまで
圧力を下げることが可能です。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。 (詳細を見る

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ 製品画像

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、
封液を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」の水封式真空ポンプです。
排水処理でお困りの場合に適しています。

◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、
熱交換器で構成されており、
コンパクトにユニット化しました。

◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス(SUS316相当)等の
耐食性に優れる材質への選定も可能です。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆管板部が分解可能で清掃ができる
熱交換器を標準装備しています。 (詳細を見る

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ 製品画像

◆独自設計のスクリューロータにより、
従来ドライポンプでは不向きとされていた
凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの
吸引を含むハードプロセスにおいても
安定した運転を実現します。

●ZEROEDGEスクリュー
排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、
ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。

●メンテナンス性の追求【省コスト】
設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。

●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。

●パーティクルがドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。
一般的なドライポンプに比べ、
粉体・生成物・液体の排出性に優れます。

●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●オプション品、多彩なアクセサリーを取り揃え、
ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
 (詳細を見る

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ 製品画像

◆化学業界において、
水封式真空ポンプから
ドライポンプへ置換える際に、
様々な吸引物により、
一般的なドライ真空ポンプでは
不具合が発生することがありますが、
当社のドライ真空ポンプは
吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、
故障せず安定した連続運転が可能です。

◆一般的なドライ真空ポンプでは、少量でも内部に
凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を吸引すると、
故障の原因となりますが、当社のドライ真空ポンプは
独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。

◆オプションのクリーニングセットにより、
設置した状態のまま、内部に残った吸引物を洗い流す作業が可能です。

◆オプションのシール・パージセットにより、
軸受・ギア等への汚染を防ぎます。

◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、
メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、
ドライポンプ単体にまとめることができ、
簡略化・省スペースになります。

◆設置場所にて、分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業)ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。

 (詳細を見る

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ 製品画像

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、
省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを
有したスマートドライポンプです。

●独自設計の面シールスクリューロータにより、
ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。

●排気速度重視の「パワーモード」、
省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。

●非腐食性ガスの場合、
冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。

●ポンプコントローラを搭載しており、
手動運転、遠隔操作が可能です。

●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。
アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。

●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●キャスター付
 (詳細を見る

メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ

メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ 製品画像

後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と
組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、
到達圧力を1~2桁低くすることができます。

●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。

●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。

●排気口の向きを下側/横側から選択できます。
 
●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。

●真空スイッチ(圧力スイッチ)も付属できます。 (詳細を見る

取扱会社 真空排気装置カタログ

神港精機株式会社 東京支店

●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

真空排気装置カタログへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須

ご要望必須


  • あと文字入力できます。

目的必須

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

神港精機株式会社 東京支店


成功事例