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最終更新日:2020-09-07 11:20:16.0

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真空排気装置カタログ

基本情報真空排気装置カタログ

実績と信頼の真空ポンプユニット。化学・食品・冶金・電子材料製造プロセスに豊富な組み合わせより個別設計で好適化。

実績豊富な各真空ポンプ(ドライポンプ・水封式真空ポンプ・油回転真空ポンプ・メカニカルブースタ)を用途・目的に合わせてユニット化。オプション機構も追加装備し個別専用排気装置にシステムアップ。
ケミカルプロセス・冶金・乾燥・蒸留・脱ガス多くの用途に好適なシステムを提案

水封式真空ポンプ SWシリーズ

水封式真空ポンプ SWシリーズ 製品画像

豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。
他方式ではトラブルの基となる様々なガスを
封水でシールすることにより安定して排気します。

◆水封式真空ポンプは、
水でシールすることで
凝縮性ガスや引火性ガスの
排気も可能にします。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。

◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組み合わせで800~1,300Paまで向上させることが可能です。

◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、
メカニカルシールも選択できます。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。
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【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製) 製品画像

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、
接ガス部に耐食性材質を採用することで、
故障を低減できます。

◆耐食性材質としてグレードの高い
SCS14(SUS316)のステンレスで製造します。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。

◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、
配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。

◆水封式真空ポンプですので
凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。

◆二段式のため2,300Paの到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組合せで800~1,300Paまで
圧力を下げることが可能です。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。 (詳細を見る

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ 製品画像

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、
封液を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」の水封式真空ポンプです。
排水処理でお困りの場合に適しています。

◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、
熱交換器で構成されており、
コンパクトにユニット化しました。

◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス(SUS316相当)等の
耐食性に優れる材質への選定も可能です。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆管板部が分解可能で清掃ができる
熱交換器を標準装備しています。 (詳細を見る

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ 製品画像

◆独自設計のスクリューロータにより、
従来ドライポンプでは不向きとされていた
凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの
吸引を含むハードプロセスにおいても
安定した運転を実現します。

●ZEROEDGEスクリュー
排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、
ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。

●メンテナンス性の追求【省コスト】
設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。

●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。

●パーティクルがドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。
一般的なドライポンプに比べ、
粉体・生成物・液体の排出性に優れます。

●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●オプション品、多彩なアクセサリーを取り揃え、
ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
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【化学業界向け】ドライ真空ポンプ

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ 製品画像

◆化学業界において、
水封式真空ポンプから
ドライポンプへ置き換える際に、
様々な吸引物により、
一般的なドライ真空ポンプでは
不具合が発生することがありますが、
当社のドライ真空ポンプは
吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、
故障せず安定した連続運転が可能です。

◆一般的なドライ真空ポンプでは、少量でも内部に
凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を吸引すると、
故障の原因となりますが、当社のドライ真空ポンプは
独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。

◆オプションのクリーニングセットにより、
設置した状態のまま、内部に残った吸引物を洗い流す作業が可能です。

◆オプションのシール・パージセットにより、
軸受・ギア等への汚染を防ぎます。

◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、
メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、
ドライポンプ単体にまとめることができ、
簡略化・省スペースになります。

◆設置場所にて、分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄)ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。

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ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ

ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ 製品画像

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、
省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを
有したスマートドライポンプです。

●独自設計の面シールスクリューロータにより、
ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。

●排気速度重視の「パワーモード」、
省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。

●非腐食性ガスの場合、
冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。

●ポンプコントローラを搭載しており、
手動運転、遠隔操作が可能です。

●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。
アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。

●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●キャスター付
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メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ

メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ 製品画像

後段の真空ポンプ(ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ)と
組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、
到達圧力を1~2桁低くすることができます。

●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。

●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。

●排気口の向きを下側/横側から選択できます。
 
●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。

●真空スイッチ(圧力スイッチ)も付属できます。 (詳細を見る

取扱会社 真空排気装置カタログ

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●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

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