株式会社リンテック東京営業所
最終更新日：2020-05-12 15:22:03.0
EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series
基本情報EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series
EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです
○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
(SEMI E54. 20-1108)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応
EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C
当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ
【特長】
○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
(SEMI E54. 20-1108)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series
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