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最終更新日:2020-05-12 15:22:03.0

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EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series

基本情報EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
  (SEMI E54. 20-1108)
○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応)
○+11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応

EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C

EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C 製品画像

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ

【特長】
○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
  (SEMI E54. 20-1108)
○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応)
○+11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス インターフェイス対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 (詳細を見る

取扱会社 EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C series

株式会社リンテック 東京営業所

気体用、液体用質量流量計(マスフローコントローラ)の製造販売 マスフローコントローラを応用した気体、液体制御系の設計、製作

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