EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C リンテック

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ

【特長】
○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
　 (SEMI E54. 20-1108)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス　インターフェイス対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

関連リンク - http://www.lintec-mfc.co.jp/

基本情報EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ
　 (SEMI E54. 20-1108)
○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応）
○＋11〜24V DC の単電源動作
○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.)
○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）
○完全デジタル操作
○超高性能1.125インチ幅
○面実装ガス　インターフェイス対応

価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	MC-5000C
用途／実績例	半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。