【資料】半導体製造装置における現状の課題と対策【耐熱コネクタソリューション】

▼【耐高温】
インシュレータにPEEK材を使用したメタルハウジングモデルは
250℃までの高温環境での使用に耐えます。　
▼【真空】
お求め安い価格で漏れ率1x10⁻⁸ Pa. ㎥ /s以下のコンパクトな気密コネクタ
▼【高電圧】
最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ
"ノイズ対策に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意"
"（シールド付きＰＶＣ被覆線、試験電圧6～60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品 etc.）"
▼【小型同軸】
「00.250シリーズ」はBNCコネクタと比べて直径で約半分のサイズと小さく、加えて着脱に捻り等の動作を必要としないため、狭ピッチでの実装が可能です。
金メッキのモデルは、非磁性を要求されるアプリケーションに対応出来ます。

上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。

※詳細は資料請求していただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
弊社HP▶https://www.lemo.co.jp/ （詳細を見る）

レモコネクタは、非常な高温・高熱の過酷な条件下で使用可能な小型・高性能・丸型コネクタです。
過去50年以上に亘り世界のお客様にコネクタを供給しつづけている事実は、レモコネクタを高品質なものとし、お客様の高い信頼を勝ち取りました。
将来におきましても、コネクタ業界のリーダとして、責任ある高品質なコネクタ製品を供給する為のあらゆる努力をはらっていきます。

【特徴】
○プッシュプルセルフラッチングシステムの採用により、
　小型化、ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能
○振動、引っ張り、ねじれ、衝撃などにさらされる過酷な環境下での
　使用に十二分に耐え、狭い場所での作業や短時間での作業等に特に有効
○多数の部品が相互に共有されいる為、
　新しいカスタム製品の開発・試作が容易

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

レモコネクタは、高温・高熱の過酷な条件下で使用可能な小型・高性能のケーブル・配線向けコネクタです。
使用可能な温度範囲は最大250℃と、過酷な条件下でもOK！しかも、小型でスタイリッシュなデザインです。

【250℃対応のシリーズ一覧】
■Bシリーズ（標準セルフラッチ、多極アライメントキー付コネクタ）
■Sシリーズ（半月形インシュレータ使用、標準セルフラッチ、多極コネクタ）
■2Cシリーズ／2Gシリーズ（短胴セルフラッチ多極コネクタ／半月型インサート）

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （詳細を見る）

単極・同軸から高密度多極ケーブルや光ファイバなど、全てのレモコネクタを高精度に加工します。
・5万以上のラインナップを誇るレモコネクタに最適なケーブルをご提案します。
・レモコネクタを熟知した専属工場で加工することにより、高品質な製品の迅速なご提供が可能となります。
・お客様からご提案頂いた他者の製品とも組み合わせ可能です。ご希望がございましたらお気軽にお申し付け下さい。

▶https://www.lemo.co.jp/ （詳細を見る）

NORTHWIRE Inc.は材料処理工程を進化させ、強化型PTFEを提供します。
市場一の被覆の薄さを実現し、屈曲性に大変優れています。

PTFEケーブル製作における従来のラム押し出し製法とは異なり、NORTHWIRE社のソリューションはハイボリュームの量産に適合しており、ケーブル長の制限も受けません。
従来のプロセス技術に比べてもコスト的に安価となります。


【特徴】
・他社比較、絶縁体厚40％減少
　高い絶縁耐力と薄さが要求される用途に最適
・使用環境　最大300℃まで。-200℃～300℃対応。
・クリーンルーム対応
・蒸気、過酸化水素、ETO滅菌 耐性
・病院レベルの化学物質、溶剤 耐性
・高温での半田付けでの収縮なし
・氷点下以下におけるコールドフロー（変形）2.5％
・同軸・ツイストケーブル（LAN・USB）対応可


お客様のご要望に応じたカスタムケーブルの製作、またケーブル単線でのご購入も可能です。 （詳細を見る）

レモ『高電圧コネクタ』は、最大50kVDC対応の小型・高品質・高信頼性の製品です。

半導体製造装置のプラズマ電源や、PZTドライバーでも多数のコネクタをご使用いただいております。

当社特有のプッシュプル構造により抜き差しが簡単、SHV型やMHV型
コネクタより小型で省スペースでの設置が可能。

屋内用の非防水タイプのほか、IP66/68 対応の防水タイプ、気密ソケット/
気密カプラ（ハーメチックコネクタ）、導通時のコネクタ抜け事故を防ぐ
セーフティナット（コネクタ抜け防止ナット）付きタイプなど多種多様な
コネクタタイプをご用意しております。


『高電圧同軸シールドケーブル』は、レモコネクタの特性を最大限に活かすよう製作されたレモオリジナル高電圧ケーブルです。
耐ノイズ性に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルです。
シールド付きPVC被覆線、試験電圧最大60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品など幅広いラインナップを用意しています。 （詳細を見る）

本資料では、半導体製造装置の開発におけるよくある課題を、コネクタによって解決した事例をご紹介しています。

【このような問題に直面していませんか？】
装置の有効スペース減少による耐熱性能の確保

市場において、このような背景があります。
■半導体の微細化・多種開発、立上げ時間の短縮
■スループットの向上、装置の小型化、カスタム対応
■歩留り改善、プロセスユニットの増加、大口径化

こういった背景で、
装置のヒーターは拡大しつつも装置自体は小型化させる傾向にあります。
装置内のスペースが限られることによりコネクタやケーブルは以前よりヒーターに近づき配置する必要があります。

課題解決におけるレモジャパンの提案を是非資料でご確認ください。
資料はPDFダウンロードよりご覧いただけます。

※詳しくはお気軽にお問い合わせくださいませ。
弊社HP▶https://www.lemo.co.jp/ （詳細を見る）