薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、
屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。

化合物半導体材料の組成比の評価も可能。

主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、
“消衰係数”、“化合物半導体の組成比”、“ドーパント濃度”です。

【主な評価・測定項目】
■薄膜の膜厚値
■エピ膜厚値
■屈折率、消衰係数
■化合物半導体の組成比
■ドーパント濃度

装置の仕様や価格については、お気軽にお問い合わせ下さい。
※デモの実施も可能です。ご希望の方は、下記お問い合わせボタンより”デモ希望”と記載ください。 （詳細を見る）

『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。
ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。
深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。

材料の組成比、異方性、Mueller Matrix、偏光解消度、反射率・透過率、ドーパント濃度、
リタデーション(R0、Rth)などに関する検査にも対応しており、幅色い用途で活用可能です。

【特長】
■高精度CCD、高分解能PMT搭載　　　■光学モデルのデータベースが豊富
■多彩な拡張オプション　　　　　　　■販売実績が多数

〈　セミナー詳細　〉
■テーマ：分光エリプソメータ 解析モデル作成手順の説明～初級編～
■開催日時
・4/22(木) 10:00～
・5/13(木) 16:00～
■内容
一般的な構造のサンプルを例にして、解析モデルの作成手順をご説明します。
有効媒質近似モデル、Cauchyモデル、Tauc-Lorentzモデルを使用した解析の説明。

※参加方法は、当社ホームページ（下記リンク）でご確認ください。 （詳細を見る）