日本セミラボ株式会社 薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

【デモ可能】化合物半導体材料の組成比の評価も可能!非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値を精度良く測定

『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、
屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。

化合物半導体材料の組成比の評価も可能。

主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、
“消衰係数”、“化合物半導体の組成比”、“ドーパント濃度”です。

【主な評価・測定項目】
■薄膜の膜厚値
■エピ膜厚値
■屈折率、消衰係数
■化合物半導体の組成比
■ドーパント濃度

装置の仕様や価格については、お気軽にお問い合わせ下さい。
※デモの実施も可能です。ご希望の方は、下記お問い合わせボタンより”デモ希望”と記載ください。

基本情報薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

取扱企業薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

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日本セミラボ株式会社 新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM(原子間力顕微鏡) キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。

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