コンパクトドライ真空ポンプ『DSP251 / DSP501』DSP-NEW-01

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。
今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。

【製品】
■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI
■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］
■磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
■コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50
■省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D

詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
また、大阪真空はSEMICON Japan 2019 にて、上記ポンプを展示いたしますので是非ご来場ください。
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コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ
○到達圧力0.5Pa
○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg）
○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー
○TMPの補助ポンプとして利用

●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。

【製品の特長】
■開放運転時排気速度　800L/min
■水蒸気処理量　500g/hr
■排気速度　1000L/min

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 （詳細を見る）

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型
油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。

ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの
アングルバルブで真空チャンバーと接続します。

ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに
取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、
排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。

カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や
スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の
マニュアル操作を行うことが出来ます。

グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、
カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。

シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング
装置を納入した事例を紹介させていただきます。

今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード
ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および
PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。

スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、
それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも
可能です。

【事例概要】
■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
■納入製品：MS-3C100L型

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関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気
システム」を納入した事例をご紹介いたします。

本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形
ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、
そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。

真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、
メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。
また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、
ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での
ベーキングを可能にしています。

【事例概要】
■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
　関西光量子科学研究所(木津)
■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム

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アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の
イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが
搭載された実績を紹介いたします。

この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および
多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・
軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。

当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの
単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。

【事例概要】
■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」
■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」
■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）