省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC 大阪真空機器製作所

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。
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基本情報省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

【特徴】
○省エネルギー、小型・軽量化を実現
○省エネルギー対応
→到達圧力時消費電力：400W
○小型・軽量を実現
→設置面積：0.11m2（230×450mm）
○重量：60kg
○省ユーティリティ
→冷却水量・バージガス量の削減
○国際規格適合
○用途に応じた製品仕様
→ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
→ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応

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用途／実績例	【用途】 ○クリーンプロセス排気・腐食性ガス排気 →半導体・液晶・LED・その他一般産業 ○スパッタ装置粗引き ○TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ ○ロードロック室、搬送室排気 ○小型実験装置排気 ○吸着搬送システム ○分析・測定装置の排気 ○小型炉排気 ○電子銃源、イオン銃源排気 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。