ポリイミド静電チャック

弊社静電チャックは、近年の世界的な自動化・省人化の流れの中で把持、搬送ツールとして選ばれる機会が増加しており、通常ロボットはもちろん、共働ロボットや、高速搬送等、幅広く対応しています。

クリエイティブテクノロジーでは、弊社で取り扱っているロボットはもちろん、お客様のロボットに合わせた、各種静電チャックのオーダーメイド設計が可能です。
また専用電源を用いた、外部信号入力による電源のON/OFF、および印加電圧の設定も可能です。 （詳細を見る）

当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を
提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。

ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と
設計技術により、好適な製品仕様を提案。

また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。

【オプション対応例】
■ヒーター内蔵
・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと
　融合させることで、高精度の温度制御が可能
■高温対応
・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の
　高温環境での使用が可能
■異常放電対策
・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、
可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。

薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、
ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。

また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。
大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。

【特長】
■クリーンデバイス
■低ダメージ
■真空下でも使用可能
■低消費電力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『マルチマテリアル静電チャック』は、繊維素材など様々な対象物を吸着、
把持することができます。

バキュームでは吸着できない布生地を吸着し、静電気が発生しにくい綿などの
布生地も吸着可能。

また、全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくいです。

【特長】
■繊維素材など様々な対象物を吸着、把持
■バキュームでは吸着できない布生地を吸着
■静電気が発生しにくい綿などの布生地を吸着
■全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくい

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）