多段ルーツ真空ポンプ TORRI BD 0100 -0600 AA

ロードロックチャンバーの排気向け真空ソリューション。クラス最高レベルの排気速度を誇ります！

=== ポンプの特長 ==========
● クラス最高レベルの排気速度
● 省エネ、低メンテナンス、高アップタイム
● コンパクトで軽量

=== 用 途 ================
● ロードロックチャンバーの排気

=== テクニカルデータ抜粋 =====
● 設計排気速度
　TORRI BD 0100 A: 100 m3/h
　TORRI BD 0300 A: 300 m3/h
　TORRI BD 0600 A: 600 m3/h
●到達真空度
　TORRI BD 0100 A: 0.01 hPa (mbar)
　TORRI BD 0300/0600 A: 0.001 hPa (mbar)
●外形寸法(L×W×H), 質量
　TORRI BD 0100 A: 450×230×275 mm, 60kg
　TORRI BD 0300/0600 A: 530×230×520 mm, 120kg

■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め、海外の仕様で記載されております。
日本仕様の真空ポンプについては日本ブッシュにお問い合わせ下さい。