日本ブッシュ株式会社 多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です!

【製品説明】
多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。
優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。

【特長】
■ フレキシブル
 ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間
■ 高効率
 省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
■ コンパクト
 非常に小型で軽量

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)

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型番・ブランド名 TORRI
用途/実績例 ロードロックチャンバーの排気

ラインナップ

型番 概要
TORRI BD 0100 A 設計排気速度:100 m3/h、到達真空度:0.01hPa、到達真空度における消費電力:0.4 kW 、外形寸法(L×W×H):450 × 230 × 275 mm
TORRI BD 0300 A 設計排気速度:300 m3/h、到達真空度:0.001hPa、到達真空度における消費電力:0.5 kW 、外形寸法(L×W×H):530 × 230 × 520 mm
TORRI BD 0600 A 設計排気速度:600 m3/h、到達真空度:0.001hPa、到達真空度における消費電力:0.6 kW 、外形寸法(L×W×H):530 × 230 × 520 mm

カタログ多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

取扱企業多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

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日本ブッシュ株式会社

●ドライ真空ポンプ ●油回転真空ポンプ ●真空計 ●リークディテクター ●ガス除害装置 ●集塵機 ●真空システム設計、製造 ●サービス ●フィールドサービス ●修理、メンテナンス ●その他真空関連コンサルティング

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