多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー日本ブッシュ

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！

【製品説明】
多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。
優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。

【特長】
■ フレキシブル
　ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間
■ 高効率
　省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
■ コンパクト
　非常に小型で軽量

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)

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型番・ブランド名	TORRI
用途／実績例	ロードロックチャンバーの排気

ラインナップ

型番	概要
TORRI BD 0100 A	設計排気速度：100 m3/h、到達真空度：0.01hPa、到達真空度における消費電力：0.4 kW 、外形寸法(L×W×H)：450 × 230 × 275 mm
TORRI BD 0300 A	設計排気速度：300 m3/h、到達真空度：0.001hPa、到達真空度における消費電力：0.5 kW 、外形寸法(L×W×H)：530 × 230 × 520 mm
TORRI BD 0600 A	設計排気速度：600 m3/h、到達真空度：0.001hPa、到達真空度における消費電力：0.6 kW 、外形寸法(L×W×H)：530 × 230 × 520 mm