東京電子株式会社
最終更新日:2021-09-08 10:31:03.0
超低ガス放出質量ガス分析計
超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計(質量分析計)です。
熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。
また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。
【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度な質量分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析(質量分析)
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ
多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。
【特徴】
■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能
■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析
■?素・?分の?精度計測
■?気圧リアルタイム分析(呼気・燃焼ガスなど)
※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。
(詳細を見る)
取扱会社 超低ガス放出質量ガス分析計
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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