（技術資料）東京電⼦の質量分析

多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。

【特徴】
■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能
■極?真空下におけるE-13Pa台の?精度質量分析
■?素・?分の?精度計測
■?気圧リアルタイム分析（呼気・燃焼ガスなど）

※多様・?精度な質量分析のメカニズムの詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。
 （詳細を見る）

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計（質量分析計）です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度な質量分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析）
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）