XYθ薄型アライメントステージシリーズ

当社では、小型デバイスの組立に適している『YRA-070』をはじめとする
XYθ薄型アライメントステージシリーズを取扱っております。

多様なモータ変更要求に対応している『YRA-071』や、中小型液晶や
ウエハの張り合わせに適した『YRA-131』、シリーズ最大の高耐荷重仕様の
『YRA-200』がございます。ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

【ラインアップ】
■YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ
■YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能
■YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適
■YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）

【RSTアライナー】
■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に
■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現
■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能
■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在
■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能
■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応

【YRAシリーズ】
■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現
■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造
■用途に合わせた4型式をラインアップ
・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ
・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能
・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適
・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様 （詳細を見る）

従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。
【特長】
■6軸駆動でも低床を維持。
■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。
■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし）
■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等
■テーブルに大口径透過穴を搭載。
■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。
■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。


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