*ドライポンプAシリーズ

A100L / A200L
•ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ
•低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能
•高効率モーター採用による低消費電力化を実現
•コンパクト設計　設置面積 0.17m2　縦置き・横置き選択可能
•2段積み可能（吸気口向き水平のみ）

A103P
•ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど）
•省エネ、省スペース

A4シリーズ
•マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現
•ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制
•耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化
•優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長
•拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等）
•ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止
•IP33、SEMI S2およびULに準拠 （詳細を見る）