ドライルーム技術

急増するリチウムイオンニ次電池や有機EL製造プロセスでは、空気中の水分が
阻害要因になるため、空気中の水分を除去した低露点雰囲気に管理された
ドライルームにて製造が行われています。

「WINDS」は、露点温度-60℃のドライエアを供給する独自の省エネルギー型
除湿機です。これを用いて業界トップクラスの省エネルギーを実現した
低露点のドライルームを提供。

また、電子デバイス製造装置やストッカーなどで超低露点環境が求められる場合には、
露点温度-100℃を供給できる除湿機「CDASS」を採用し超低露点環境を構築します。

【特長】
■ドライルームを省エネルギー、省コストで構築
■超低露点温度一100℃の環境も構築

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）