酸化膜工程向けCMPスラリー『ILD(TM)シリーズ』

『ILD(TM)シリーズ』は、ヒュームドシリカを用いた酸化膜CMPスラリーです。

一般的なコロイダルシリカスラリーでは実現困難な高研磨レートと
スクラッチフリー・不純物低減を実現した業界標準のスラリーで、
ガラスエポキシ研磨にもご使用いただけます。

【概要】
■低スクラッチ性能が求められる酸化膜工程研磨に好適
■KOH/アンモニアベース
■圧倒的な不純物金属低減
■高い機械研磨特性

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）