独立発泡ウレタンパッド

当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを
取り扱っております。

特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな
構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、
優れた加工均一性を発揮します。

また、高い段差緩和性能と低スクラッチ性能も実現します。

【ラインアップ】
■各種基板の高平坦化に好適
　・IC1000(TM)単層パッド
■酸化膜CMPやメタルCMPに好適
　・IC1000(TM) SUBA(TM)積層パッド
　・IC1400(TM)積層パッド
■VISIONPAD(TM)　IC1000(TM)の次世代品
　・VISIONPAD(TM) 6000N積層パッド

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）