京浜ラムテック株式会社
最終更新日:2024-07-02 13:30:47.0
【低ダメージカソード搭載】インライン型スパッタリング装置
RAM インライン型スパッタリング成膜装置
RAMカソード(4面対向式低ダメージスパッタリングカソード)
及び強磁場プレーナーカソードを搭載したデポジションアップ式水平インライン型スパッタ装置です。
下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜を行います。
その後、強磁場カソードで高速成膜を行います。
ロードロックストッカー及びアンロードロックストッカーに各15トレイずつ真空保管されます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
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