米国レスカー社製 マグネトロンスパッタ源

当社では、超伝導薄膜の研究に適した米国レスカー社製の『マグネトロンスパッタ源』を
取り扱っております。

ターゲット利用効率が高い「Oリングタイプ」をはじめ、150mmの高さ調整が可能な
「シャッター 一体式スパッタ源」や「超高真空タイプ」などをラインアップ。

また、各種ターゲット材料の取り扱いもしております。お気軽にお問い合わせください。

【Oリングタイプ 特長】
■強力なスパッタによりデポジションレートが速い
■ターゲット利用効率が高い
■成膜精度が高い
■ターゲット取付はクランプ式を採用
■ターゲット交換が容易（ボンディング不要）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）