株式会社グリーンテック 米国レスカー社製 マグネトロンスパッタ源
- 最終更新日：2020-11-27 16:23:42.0
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半導体・セラミック・磁性体・非磁性体等の成膜！超伝導薄膜の研究に適しています
当社では、超伝導薄膜の研究に適した米国レスカー社製の『マグネトロンスパッタ源』を
取り扱っております。
ターゲット利用効率が高い「Oリングタイプ」をはじめ、150mmの高さ調整が可能な
「シャッター 一体式スパッタ源」や「超高真空タイプ」などをラインアップ。
また、各種ターゲット材料の取り扱いもしております。お気軽にお問い合わせください。
【Oリングタイプ 特長】
■強力なスパッタによりデポジションレートが速い
■ターゲット利用効率が高い
■成膜精度が高い
■ターゲット取付はクランプ式を採用
■ターゲット交換が容易（ボンディング不要）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報米国レスカー社製 マグネトロンスパッタ源
【ラインアップ】
■Oリングタイプ
■シャッター 一体式スパッタ源
■超高真空タイプ
■リニア（矩形）大口径タイプ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■超伝導薄膜の研究 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ米国レスカー社製 マグネトロンスパッタ源
取扱企業米国レスカー社製 マグネトロンスパッタ源
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■再利用真空機器・装置の売買 （国産・輸入品） ■各種真空機器総合サービス （真空装置、電源、真空ポンプ等） レンタル ・ 改造 ・ 移設 ・ 修理 ・ オーバーホール ■主要取扱真空部品 1.電流導入端子（米国セラムテック社製・国産） 2.高圧力用導入端子（米国コナックス社製） 3.スパッタ源（米国レスカー社製） 4.流量センサー 5.超高真空窓 6.真空フランジ・配管部品 7.マスフローコントローラー
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