「デスクトップRFスパッタ装置　SVC-700RFIII」カタログ

『SVC-700RFIII』は、卓上に置けるコンパクトなサイズながらφ2インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。

ガス導入機構を増設でき、アルゴンガスを含めた最大3種類のガス導入が可能。

金属薄膜に加え、絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜など様々な薄膜作製に対応できます。

【特長】
■研究開発向けのデスクトップサイズ
■試料サイズ：最大φ2インチ
■膜厚センサー追加可能

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）