静電チャック専用電源

株式会社クリエイティブテクノロジーでは、静電チャックの導入、専用電源や周辺機器の一括提案・購入が可能です。

当社の『静電チャック専用電源』は、より快適・安全に静電チャックが使用できるよう開発されており、用途に合わせたスペックの選択が可能です。

チャックシステム異常発生時には、電源が自動でOFFになる安全機能が搭載されており、未然に事故を防ぐことが可能です。
また、デチャックアシスト機能と極性切替機能により、電源OFF時の残留電荷の軽減や安定した把持力を維持できるよう設計されています。

【特徴】
■用途に応じてスペックの選択が可能
■異常時の自動電源OFF機能
■残留電荷の軽減
■極性切替による安定した把持力が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、HPよりお気軽にお問い合わせください。

HP：https://creative-technology.co.jp/products/chuck/ （詳細を見る）

弊社静電チャックは、近年の世界的な自動化・省人化の流れの中で把持、搬送ツールとして選ばれる機会が増加しており、通常ロボットはもちろん、共働ロボットや、高速搬送等、幅広く対応しています。

クリエイティブテクノロジーでは、弊社で取り扱っているロボットはもちろん、お客様のロボットに合わせた、各種静電チャックのオーダーメイド設計が可能です。
また専用電源を用いた、外部信号入力による電源のON/OFF、および印加電圧の設定も可能です。 （詳細を見る）

当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を
提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。

ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と
設計技術により、好適な製品仕様を提案。

また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。

【オプション対応例】
■ヒーター内蔵
・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと
　融合させることで、高精度の温度制御が可能
■高温対応
・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の
　高温環境での使用が可能
■異常放電対策
・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、
可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。

薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、
ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。

また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。
大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。

【特長】
■クリーンデバイス
■低ダメージ
■真空下でも使用可能
■低消費電力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『マルチマテリアル静電チャック』は、繊維素材など様々な対象物を吸着、
把持することができます。

バキュームでは吸着できない布生地を吸着し、静電気が発生しにくい綿などの
布生地も吸着可能。

また、全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくいです。

【特長】
■繊維素材など様々な対象物を吸着、把持
■バキュームでは吸着できない布生地を吸着
■静電気が発生しにくい綿などの布生地を吸着
■全面吸着であるため、布生地吸着時にシワができにくい

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）