伯東株式会社本社
最終更新日：2022-04-18 10:07:52.0
マイクロ波プラズマ装置-GIGAbatch 360,380P
PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)
2.45GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。
ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。 （詳細を見る）
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