パーク・システムズ・ジャパン株式会社
最終更新日：2021-05-20 16:42:17.0
原子間力顕微鏡『Park NX-Wafer』
原子間力顕微鏡『Park NX-Wafer』
『Park NX-Wafer』は、欠陥のイメージングと解析を完全自動で行う
AFM計測手法により、欠陥検査における生産性を1,000％向上する
原子間力顕微鏡です。
正確でハイスループットのCMPプロファイル測定のための低ノイズ
原子間力プロファイラー。
サブÅの表面粗さを極めて正確に測定し、チップ間のバラツキを最小化します。
【特長】
■欠陥のイメージングと解析を完全自動で行うAFMソリューション
■欠陥レビューにおける生産性を最大1000％向上
■低ノイズ原子間力プロファイラーで正確且つ高スループットなCMP計測を実現
■非常に正確で、チップーチップ間のバラツキも最小にしたサブÅ表面粗さ計測
■原子間力プロファイラー
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 原子間力顕微鏡『Park NX-Wafer』
【取扱製品】 ■研究用 ・小型サンプル対応AFM ・大型サンプル対応AFM ■生産ライン用 ・全自動AFM ■Bio and Chemical ・Bio AFM＆SICM
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