減圧プラズマ処理装置『PR Series』

『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。

レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、
用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を
基材表面に強固に付与することができます。

本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。
詳しくはお問い合わせください。

【特長】
■ロールtoロールタイプ
■減圧下でプラズマ処理
　・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い
　・大気圧装置では出来なかったプロセスも対応​（各種官能基修飾など）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）