ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシング・エッチングの他、表面改質処理（官能基付与）が可能。
『PR Series』は、減圧下でプラズマ処理が可能なロールtoロールタイプの処理装置です。
レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、
用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を
基材表面に強固に付与することができます。
本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。
詳しくはお問い合わせください。
【特長】
■ロールtoロールタイプ
■減圧下でプラズマ処理
・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い
・大気圧装置では出来なかったプロセスも対応（各種官能基修飾など）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』
【多様なプロセス対応】
■官能基修飾処理（接着性向上、親水化、撥水化、他）
■アッシング / エッチング 処理
■デスカム / デスミア 処理
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』
取扱企業ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』
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