RHEEDユニット『PHD-30K-034』

『PHD-30K-034』は、超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、
表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析システムです。

コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから
取り付けやメンテナンスが容易。

また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での
測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。

【特長】
■30kV対応かつコンパクトな制御電源
■1Pa台まで使用可能な差動排気設計
■2段差動排気（オプション）により100Pa台でのモニター可能
■スキャンコイル（オプション）による電子線スキャニングで、
　同一条件での多数回折が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）