30kV対応かつコンパクトな制御電源！1Pa台まで使用可能な差動排気設計
『PHD-30K-034』は、超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、
表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析システムです。
コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから
取り付けやメンテナンスが容易。
また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での
測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。
【特長】
■30kV対応かつコンパクトな制御電源
■1Pa台まで使用可能な差動排気設計
■2段差動排気（オプション）により100Pa台でのモニター可能
■スキャンコイル（オプション）による電子線スキャニングで、
同一条件での多数回折が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報RHEEDユニット『PHD-30K-034』
【RHEED標準構成（差動排気RHEED）】
■RHEED 電子銃：ICF34フランジマウント、加速電圧30kV（最大）
■高圧電源およびリモートコントローラー
■差動排気用ターボ分子ポンプ
■標準的な円形蛍光スクリーン：ICF152フランジ用またはICF203フランジ用
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カタログRHEEDユニット『PHD-30K-034』
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