株式会社カルコジェニック
最終更新日：2022-03-14 17:32:25.0
【資料】SnS極薄膜成膜製作事例
【資料】SnS極薄膜成膜製作事例
当資料では、SnS極薄膜成膜（ソーダガラス基板・50mm角）を製作した
事例をご紹介しています。
145nmをはじめ、88nm、51nm、37nm、30nmの各膜厚のグラフや
写真を掲載。
それぞれの抵抗率もご紹介しておりますので、ぜひダウンロードして
ご覧ください。
【掲載事例】
(1)膜厚145nm
(2)膜厚88nm
(3)膜厚51nm
(4)膜厚37nm
(5)膜厚30nm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
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