純水昇圧ユニット_A3_1Pr2

『JH-72S-SBX/JH-96S-SBX/JH-144S-SBX』は、純水を加温・昇圧して供給する純水加温ユニットです。2in1設計による省プリントを実現しています。
また、昇圧機能付きなので、サブファブへの設置が可能で、クリーンルームにスペースが生まれます。

独自の石英タンク構造と制御機構により、加熱起動が早い省エネ設計。
場所を取らないコンパクト設計なほか、純水圧が足りない環境にも
昇圧機能搭載なので、1次側の圧力変動に影響されず、安定した供給が可能です。

昇圧機能無しの純水加温ユニットも含め、多くのラインナップを用意しています。

【特長】
■昇圧機能を搭載（選択オプション）
■限られたスペースに設置可能
■投資コスト低減にも寄与
■独自の石英タンク構造と制御機構により、加温起動が早い省エネ設計
■加熱容器に石英ガラス、主要配管部にフッ素樹脂を使用したクリーン設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

純水昇圧ユニットの導入により、
純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。

純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。

この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。

【特長】
■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。
■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、
高い耐久性能を実現。
■脈動のない安定した供給を実現。
■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。
■供給先装置の通信仕様に対応。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）