株式会社清和光学製作所
最終更新日：2022-08-03 10:48:37.0
半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』
半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』
『FSMシリーズ』は、FOUP/FOSB/OCの外径寸法測定を行う装置です。
2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能。
様々な角度から、トップフランジ、サイドフォークリフトフランジ、
ウェハ搭載の段ピッチやレジストレーションピンホールを測定・検査します。
特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。
【特長】
■各種メーカーのFOUP/FOSB/OCに対応
■φ300mmの定型サイズ以外やカラーカセットも検査可能
■2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能
■超広視野で行う高速処理でスループットは業界最速クラス
■特注も対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』
光学機器の設計、製造、販売 1.顕微鏡 2.マシンビジョン及び周辺機器 （光学機器・照明機器・映像機器・FA実装及び半導体関連装置) 3.FPD及び半導体用製造装置 / 検査装置 （露光装置、検査装置、レーザ機器) 4.機器のサービス＆メンテナンス 5.新市場向新開発製品
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