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最終更新日:2023-01-23 08:09:19.0

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『受託サービス:質量ガス分析』分析システムのご案内

受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈>

受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈> 製品画像

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した
サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。

分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造材を採用しており、
デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。
半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。

【測定例】
■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
■半導体ウェハ基板からのガス放出測定
■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
■封止デバイスの極微小リークチェック

※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、
 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。
 お問い合わせもお気軽にどうぞ。 (詳細を見る

受託サービス:デバイスの質量ガス分析

受託サービス:デバイスの質量ガス分析 製品画像

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した
サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。

分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造材を採用しており、
デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。
封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。
半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。

【測定例】
■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定
■半導体ウェハー基板からのガス放出測定
■接合ウェハー界面のガス分析
■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定
■封止デバイスの極微小リークチェック

※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、
 分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。
 お問い合わせもお気軽にどうぞ。 (詳細を見る

取扱会社 『受託サービス:質量ガス分析』分析システムのご案内

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○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ  ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計  ・真空ポンプ用電源  ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器

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