気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。

化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。

ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。

【特長】
■再現性の高い、高精度なガス供給
■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性
■長期にわたる安定したプロセス制御
■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、
トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。

長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。
技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。

現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や
特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。

【資料ラインアップ】
■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞
■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞
■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。
　お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）

日常的に小型化、高性能化が進む世界。
携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。
このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器への抗菌性金属コーティング
・フレキシブルな太陽電池

薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。

本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。
是非、ご一読くださいませ。

★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や
ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！

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