【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、
非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、
表面改質などへの応用が進められています。

当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、
加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で
キセノンエキシマランプ（172nm）を照射。

赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの
照射に伴うPVA膜の化学状態の変化を観測しました。

【特長】
■はじめに
■実験
■結果と考察

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