【技術資料】真空紫外エキシマランプの現状とその産業的応用

当資料では、「真空紫外エキシマランプ」の現状とその産業的応用について
ご紹介しております。

エキシマとは励起状態の原子または分子1個と基底状態の原子または分子1個が
会合した二量体の総称。

「真空紫外エキシマランプ」は、準単色光、一般的なランプにない短波長の
光を発光できる、瞬時点灯点滅が可能、などの特長を有しています。

また、真空紫外光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の
結合を切断することができます。

【掲載内容】
■真空紫外エキシマランプとは
■真空紫外エキシマランプの応用

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