ウエハ外観検査装置(ダイシング前)

『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する
外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上)

また、ビューワーソフトは、検査結果マップ表示機能・NGチップ拡大表示機能・
不良分類表示機能(不良項目/検査総数/OK/NG)がお使いいただけます。

【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査が可能
■オートフォーカス機能(オプション)
■全数のマーキングミスチェック機能(オプション)
■ID読込み及びマッピングデータ出力機能(オプション)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)』は、ウエハダイシング後の
チップを外観検査する装置です。

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(約0.8μm～2.0μm/pixel)

また、オプションで、表裏同時検査・NGチップリジェクト機能・
NGチップマーキング機能・全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能・
ID読込み及びマッピングデータ出力機能がございます。

【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■外観検査とNGリジェクトを平行して行う2ステージ仕様も選択可能
■処理能力
　・外観検査時間：分解能1.5μm時 約2分(2inch：チップサイズ約1mm)
　・排除時間：3～6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動)
　・マーキング時間：インカーの場合3～4チップ/秒

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）