画像分解能が選択可能！ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後) ヒューブレイン

多種多様な機能搭載！320万画素の3CMOSカラーエリアカメラで検査を実施。

『ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)』は、ウエハダイシング後の
チップを外観検査する装置です。

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(約0.8μm～2.0μm/pixel)

また、オプションで、表裏同時検査・NGチップリジェクト機能・
NGチップマーキング機能・全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能・
ID読込み及びマッピングデータ出力機能がございます。

【特長】
■多機能画像検査ソフトHu-Dra
■外観検査とNGリジェクトを平行して行う2ステージ仕様も選択可能
■処理能力
　・外観検査時間：分解能1.5μm時約2分(2inch：チップサイズ約1mm)
　・排除時間：3～6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動)
　・マーキング時間：インカーの場合3～4チップ/秒

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報画像分解能が選択可能！ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)

【機器仕様(例)】
■カメラ
　・320万画素3CMOS カラーエリアカメラ(検査)
　・16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン)

■装置サイズ
　・1,450W×1,640D×1,800H mm
　・パトライト、HEPA除く

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【検査項目】 ■ダイシング不良(ワレ･欠け)、スクラッチ、変色、異物、パターンずれ、　パターン欠損レジスト残留、塗布不良、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ画像分解能が選択可能！ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)

取扱企業画像分解能が選択可能！ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)

株式会社ヒューブレイン

・多機能画像処理エンジン　Hu-Dra　　　・高速部品移載装置・バラ to トレイ外観検査装置　　　・電子部品6面外観検査装置・トレイ外観検査装置　　　・高機能卓上型外観検査装置　Hu-Cube ・通信／高周波部品、デバイスモジュール外観検査装置・自由角度外観検査装置　　　・小型ガラスパネル外観検査装置・ウエハ外観検査装置（ダイシング前）・ウエハチップ外観検査装置（ダイシング後）・円柱型部品全面外観検査装置・ステレオカメラ方式　高速＋高分解能3D検査システム　　　・計数機・容器外面印刷検査システム　　　・容器内面検査システム・シリンジ検査装置　　　・Lib極板外観検査装置・太陽電池セル外観検査装置　　　・ペレット・パウダ異物検査装置・切削工具検査装置　　　・シート外観検査システム　　等